Tlhahlobo ea ho se tsitse ha bokaholimo, bophahamo ba mehato le botenya ba filimi e tšesaane holim'a li-wafer tsa semiconductor, lilense tsa optical tse nepahetseng le likarolo tse koahetsoeng li khetholla ka ho toba chai ea tlhahiso. Ho hlahloba probe ea ho ikopanya ea setso ho hula lisampole tse bonolo habonolo, ha lisebelisoa tse tloaelehileng tsa ho lekanya tsa optical li sa khone ho fana ka ho nepahala ha nano-level. U ka finyella liteko tse sa senyeheng joang, ho nepahala ha nano ho phahameng haholo le tlhahlobo ea tlhahiso ea bongata e phahameng ka nako e le 'ngoe?
Interferometer e ncha ea mabone a masoeu a indasteri ea Wavelength OE e na le mekhoa e 'meli ea ho lekanya interferometry. Ka ho lemoha ho se amaneng, e akaretsa mosebetsi o felletseng ho tloha ho R&D ea laboratori ho ea ho QC ea tlhahiso ea inthanete.
Mekhoa ea Dual Core Interferometry bakeng sa Topography eohle ea Bokaholimo
Ho fapana le disebediswa tsa ho lekanya tsa mokgwa o le mong, sistimi ena e kopanya di-algorithms tsa VSI (Vertical Scanning Interferometry) le PSI (Phase-Shifting Interferometry), e kgotsofatsa ditlhoko tse pedi tsa motheo tsa tekanyo ka mochini o le mong.
| Ntho ea Papiso | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Libaka tse ka sehloohong tse sebetsang | Libaka tse mpe, litepisi, libaka tse sa tsoeleng pele le tse rarahaneng | Libaka tse boreleli haholo, tse tsoelang pele le tse seiponeng |
| Sebaka sa ho Lekanya Bophahamo bo Otlolohileng | Mefuta e mengata; e khona ho lekanya li-groove tse tebileng le mehato e phahameng | Sebaka se moqotetsane; ha sea lokela mehato e meholo e arohaneng |
| Qeto e otlolohileng | Boemo ba nanometer; sub-nanometer e ka fihlelleha ka li-algorithms tse ntlafalitsoeng | Qeto e phahameng ka ho fetisisa; ho pheta-pheta ho fihlela boemong ba sub-nanometer esita le sub-angstrom |
| Mamello ho Bohloko bo ka Holimo | Holimo | Tlase |
| Ho se hlaka ha Mokhahlelo | Hoo e ka bang ha ho letho; tlhahiso ea boleng bo felletseng ba bophahamo e ea fumaneha | Ho na le phoso ea ho phuthela ea mekhahlelo ea 2π |
| Lebelo la ho Lekanya | E hloka ho skena ha axial, e liehang haholo | Ka kakaretso e potlakile |
| Khanyetso ea ho thothomela | E ka thothomela nakong ea ho skena | Ho fetoha ha mekhahlelo e mengata, ho ela hloko haholoanyane ho thothomela |
| Likopo tse Tloaelehileng | Ho ba thata, bophahamo ba mehato, meaho e menyenyane, libaka tse entsoeng ka mechini | Teko ea ho ba le bokaholimo bo boreleli haholo, sebopeho sa bokaholimo le ho ba bataletse |
PSI (Phase-Shifting Interferometry): E ikhethile ka likarolo tsa bolelele bo bonyenyane ba nano-scale le lifilimi tse tšesaane haholo, e fanang ka qeto e phahameng ka ho fetisisa ea microscopic.
Seipone sa Sefofane
Seipone se kobehileng (Seipone se kobehileng)
Mohlala oa Setshwantsho sa Lifoto
VSI Vertical Scanning Interferometry: E ntlafalitsoe bakeng sa mesebetsi e nang le mefuta e meholo ea bophahamo le mehato e melelele; sebaka se felletseng sa ho lekanya se fumaneha ntle le ho skena ka likarolo.
Sehlopha sa li-micro bump tse chitja holim'a li-wafer tse phuthetsoeng tse tsoetseng pele
Elliptical micro bump array holim'a li-wafer tse phuthetsoeng tse tsoetseng pele
sehlopha sa lilense tsa microlens
Ha e bapisoa le mohloli oa leseli le lesoeu le nang le kutloano e khutšoanyane ea 450–700 nm, e ka thibela ka katleho khanya e lahlehileng ho tsoa ho lipontšo tse ngata 'me ea fana ka ts'ebetso e matla ea ho thibela tšitiso. E hlomelitsoe ka liaparo tse nang le mekhahlelo e mengata, karolo ena ea optical e nang le khanya e tlase e ka ntša matšoao a tšitiso a tsitsitseng le a ikhethang, ea hlahisa liphetho tsa 'nete le tse tšepahalang tsa tekanyo.
2. Litlhaloso tse Etelletseng Pele Indastering tsa Nano-Kereiti, Lintlha tse ka Lateloang le tse Tsitsitseng tsa Nako e Telele
-Sistimi ena e amohela mohloli oa leseli le lesoeu la LED le nang le bolelele ba maqhubu a bohareng ba 550 nm, le nang le liparamente tsa ts'ebetso ea mantlha ea maemo a holimo tse tsamaellanang le maemo a holimo a lefats'e.
-Qeto e otlolohileng: <1 nm, phoso ea tekanyo e pheta-phetoang: <10 nm, ho nepahala ha nanometer ea 'nete
-Boemo bo phahameng ka ho fetisisa ba ho lekanya bo otlolohileng: 500 μm, ha ho hlokahale ho beoa hape khafetsa bakeng sa meaho e menyenyane e tlase haholo.
-Lebelo la ho skena: 100 μm/s, ho skena ho felletseng hanngoe ho phethetsoe ka metsotsoana e 10, ho leka-lekanya ho nepahala le ho feta ha tlhahlobo.
-E latela maemo a NIST a ka latelwang, algorithm ya ho lekanya ka boiketsetso e kentsweng kahare e netefatsa data e tsitsitseng ya sehlopha e ka latelwang, e fihlella maemo a thata a QC bakeng sa diindasteri tsa semiconductor le tsa optical.
| Ntho | Paramethara |
| Bokgoni ba ho Lekanya | Toropo ea bokaholimo ba 3D, ho ba thata ha bokaholimo, bophahamo ba litepisi le botenya ba filimi ea thepa e bonahatsang le likarolo tsa mahlo |
| Mokhoa oa ho Fumana Lintlha | Interferometry ea ho Sekena ka ho Otloloha (VSI) + Interferometry ea Phase-Shifting (PSI) |
| Sistimi ea ho Lekanya | Mokhoa o tloaelehileng oa NIST o ka lateloang + mokhoa oa ho lekanya o iketsang |
| Sebaka sa ho Lekanya se Emeng | 500 μm |
| Sebaka sa Pono | Sepheo sa 20×: 0.87 × 0.65 mm |
| Tshebetso ea Khamera | Qeto e Phahameng: 2048×2448; Sekhahla sa Foreimi: 74 Fps; Botebo ba Bite: 12 bit |
| Lebelo la ho Sekena | 100 μm/s (Mokhoa oa ho Nepahala) |
| Likhetho tsa Lense ea Sepheo | Lipakane tsa ho holisa tse ka lokisoang tsa 20x / 50x |
| Moralo oa ho Kenya | Sethala sa ho itšehla thajana se hahiloeng ka hare se sebetsang, se nang le ho rapama le ho otloloha sea fumaneha |
| Tekanyo e Akaretsang (L×W×H) | 120 × 80 × 65 cm |
| Boima bo kahare | ≤58 kg |
3. Moralo oa Khabinete e Kopaneng ea Liindasteri, o Tsamaellanang le Lab le Mohala oa Tlhahiso
E ntlafalitsoe bakeng sa lithupelo tsa tlhahiso ea bongata le lilaboratori tsa lipatlisiso tsa mahlale tse nang le ho lumellana ho tenyetsehang ha ho kenngoa.
Sethala se sebetsang sa ho itšehla thajana se hahiloeng kahare: Tekanyo e tsitsitseng tlasa ho thothomela ha fektheri, ha ho hlokahale tafole e eketsehileng ea ho itšehla thajana.
Sebopeho sa ho kenya habeli: Ho seta ka ho otloloha kapa ho otloloha, ho kopanngoa habonolo le mela ea tlhahiso e iketsang le libaka tsa mosebetsi tsa laboratori.
Mmele o monyane o kopaneng: Sebaka se senyenyane sa maoto se nang le boholo ba 120 × 80 × 65 cm, boima ba ≤58 kg, ho kenngoa ha thepa sebakeng seo ho bonolo.
Sistimi e felletseng e kopanya mohloli oa leseli, yuniti e kholo ea interferometer le module ea taolo. Ho kenya le ho bapala ka har'a ho phutholla, ha ho hlokahale tokiso e rarahaneng ea tsela ea optical.
Tšireletso e Pharaletseng ea Ts'ebeliso bakeng sa Tlhahiso e Nepahetseng ka ho Fetisisa
Indasteri ea Semiconductor: Tlhahlobo ea topography ea 3D le bophahamo ba mehato ea li-wafer tsa silicon le li-chips tsa micro-nano.
Precision Optics: Teko ea ho ba thata le botenya ba filimi bakeng sa lilense tsa mahlo, lipheo le likarolo tsa mahlo tse koahetsoeng.
Liaparo tse Ncha tse Sebetsang: Tlhahlobo ea boemo ba bokaholimo le botenya ba liaparo tse bonahatsang le lifilimi tse tšesaane tse sebetsang.
Li-Lab tsa Lipatlisiso tsa Saense: Tlhahlobo ea sebopeho sa micro-nano le tlhahlobo ea sebopeho sa likarolo tse nepahetseng.
Ka lilemo tsa boiphihlelo ba profeshenale ho tsa R&D tsa optical, Wavelength OE e iketsetsa litsela tsohle tsa mantlha tsa optical le li-algorithms tsa tekanyo bakeng sa li-interferometer tsa leseli le lesoeu. Taolo e felletseng ea tekheniki ho tloha mehloling ea leseli, lilense tse shebaneng le sepheo ho isa lits'ebetsong tsa tlhahlobo. Yuniti e 'ngoe le e 'ngoe e feta tlhahlobong e nepahetseng ea li-round tse ngata pele e tlisoa. Re fana ka tšehetso e felletseng ea tekheniki ea kamora thekiso 'me re iketsetsa litharollo tse ikhethileng tsa tekanyo ho latela boholo ba mosebetsi oa bareki le litlhoko tsa mohala oa tlhahiso o iketsang.
Nako ea poso: Phupu-15-2026