Lilense tsa F-Theta hangata li sebelisoa hammoho le liipone tsa ho skena tsa galvanometer lits'ebetsong tsa ho betla, ho seha le ho tšoaea ka laser. Ka tloaelo ho sotha ha lense ea F-Theta ho bolokoa ka tlase ho 1% e le hore e khone ho hlahisa sebaka se nepahetseng tšimong e bataletseng setšoantšong.
Bophara ba mamello: +0/-0.13mm
Mamello ea Botenya: ± 0.25mm
Mamello ea Bolelele ba Focal: ± 2%
Phapang ea Botenya ba Moeli (ETV): ≤3 arc min.
Lesoba le Hlakileng: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Boleng ba Bokaholimo: 40-20 SD
Sekoahelo sa AR: R<0.2% ka bokaholimo @10.6μ